基本信息
| 标准名称： | 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法 |
| 英文名称： | Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference |
| 中标分类： | 冶金 >> 金属理化性能试验方法 >> 金属物理性能试验方法 |
| ICS分类： | 冶金 >> 金属材料试验 >> 金属材料化学分析 |
| 替代情况： | 替代GB/T 8758-1988 |
| 发布部门： | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： | 2006-07-18 |
| 实施日期： | 2006-11-01 |
| 首发日期： | 1988-02-25 |
| 作废日期： | 1900-01-01 |
| 主管部门： | 中国有色金属工业协会 |
| 提出单位： | 中国有色金属工业协会 |
| 归口单位： | 中国有色金属工业协会 |
| 起草单位： | 北京有色金属研究总院 |
| 起草人： | 王彤涵 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2006-11-01 |
| 页数： | 平装16开/页数：7/字数：8千字 |
| 计划单号： | 20021942-T-610 |
| 书号： | 155066·1-28139 |
适用范围
本标准适用于砷化镓外延层厚度的测量，测量厚度大于2μm。要求衬底材料的电阻率小于0.02Ω·cm，外延层的电阻率大于0.1Ω·cm。
前言
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目录
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引用标准
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所属分类： 冶金 金属理化性能试验方法 金属物理性能试验方法 冶金 金属材料试验 金属材料化学分析