【英文标准名称】:Testingofmaterialsforsemiconductortechnology-Determinationofimpuritycontentinsiliconbyinfraredabsorption-Part1:Oxygen
【原文标准名称】:半导体工艺材料检验.用红外吸收法测量硅的杂质含量.第1部分:氧
【标准号】:DIN50438-1-1995
【标准状态】:作废
【国别】:德国
【发布日期】:1995-07
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DE-DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:半导体工艺;无损检验;半导体器件;电学测量;材料;红外线光谱法;化学分析和试验;半导体;红外线吸收;杂质;氧;半导体工程;硅;矽;定义;试验;测量技术;材料试验;含量测定
【英文主题词】:Chemicalanalysisandtesting;Definition;Definitions;Determinationofcontent;Electricalmeasurement;Impurities;Infraredabsorption;Infraredspectroscopy;Materials;Materialstesting;Measuringtechniques;Non-destructivetesting;Oxygen;Semiconductordevices;Semiconductorengineering;Semiconductortechnology;Semiconductors;Silicon;Testing
【摘要】:Thisdocumentspecifiestwomethodsforthenon-destructivedeterminationoftheoxygencontentinsiliconbyinfraredabsorption.
【中国标准分类号】:H17
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:10P;A4
【正文语种】:德语